PSD（Position Sensitive Detector）位置敏感探測(cè)器，又稱坐標(biāo)光電池，是一種基于橫向光電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)光斑位置檢測(cè)的非分割型光學(xué)探測(cè)器‌。其核心結(jié)構(gòu)包括P型襯底、PIN光電二極管及表面均勻電阻層，通過(guò)檢測(cè)兩端電極輸出光電流的反比關(guān)系計(jì)算位置坐標(biāo)‌。

核核心特性

1. 高分辨率與線性度‌：PSD位置分辨率最高達(dá)0.1μm，線性度誤差優(yōu)于0.5%，適用于亞微米級(jí)精密測(cè)量‌。

2. ‌快速響應(yīng)與寬光譜響應(yīng)‌：典型響應(yīng)時(shí)間為0.1μs～5μs，覆蓋400nm～1100nm可見(jiàn)光至近紅外波段‌。

3. ‌連續(xù)位置檢測(cè)‌：作為模擬器件，PSD可無(wú)級(jí)連續(xù)檢測(cè)光斑位置，不受像元尺寸限制，無(wú)“死區(qū)”‌。

工作原理

  當(dāng)光照射PSD感光面時(shí)，光生電荷通過(guò)均勻電阻層被電極收集。兩電極輸出電流與光斑位置成反比，通過(guò)公式計(jì)算即可得到光斑坐標(biāo)‌。例如，一維PSD-12515、PSD-2534和二維PSD-1615等型號(hào)均采用此原理‌。

應(yīng)用領(lǐng)域

  PSD廣泛應(yīng)用于激光準(zhǔn)直、原子力顯微鏡、光學(xué)跟蹤、振動(dòng)檢測(cè)等精密測(cè)量場(chǎng)景‌。其抗干擾性強(qiáng)、處理電路簡(jiǎn)單，尤其適合需要高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和寬形態(tài)適應(yīng)的環(huán)境‌